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[发明专利]基板安置部及包括该基板安置部的基板处理装置-CN202010194629.X在审
发明人：金友镇;高东均;许明洙;朴瑾禧;朴瑄昱 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2020-03-19 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板安置部及包括该基板安置部的基板处理装置，基板安置部包括在平面上沿第一方向及交叉于所述第一方向的第二方向形成各边的四边形形状的内侧区域及围绕所述内侧区域的外侧区域。所述基板安置部包括：内侧加热线，布置于所述内侧区域，并包括最靠近所述外侧区域而布置的最外围加热线及相邻于所述最外围加热线而布置的相邻加热线；以及外侧加热线，布置于所述外侧区域。所述最外围加热线在所述内侧区域的所述四边形形状的边角部分向所述四边形形状的边角方向突出，从而在所述边角部分形成缩小所述最外围加热线和所述外侧加热线之间的距离的边角突出部。
安置包括处理装置

[其他]基板处理装置及基板保持部-CN201890001687.2有效
发明人：原大介;八幡橘;竹田刚;大野健治;山崎一彦 -专利权人：株式会社国际电气
申请日： 2018-09-12 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： H01L21/318 文献下载
摘要：本实用新型提供一种基板处理装置及基板保持部，能够高效地除去反应管内的异物。该基板处理装置具有：处理基板的反应管；以及具有保持上述基板的多个支柱的基板保持部，至少一个上述支柱具有供给惰性气体的中空部和对上述反应管的内壁供给上述惰性气体的气体供给口。
处理装置保持

[实用新型]基座、基板支撑部及包括基座和基板支撑部的基板处理装置-CN202022798026.9有效
发明人：权秀泳;朴相和 -专利权人：周星工程股份有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基座、基板支撑部以及包括基座和基板支撑部的基板处理装置，该基座包括：基底，用于支撑基板；以及涂层，形成在所述基底上，用于放置基板，其中，所述涂层包括：第一涂层，支撑所述基板；以及第二涂层，形成为包围所述基板的侧面，其中，所述第二涂层包括：涂层倾斜面，与所述第一涂层以形成钝角的方式连接；以及凸出部件，位于所述涂层倾斜面的上部并朝向所述基板的内侧凸出，所述凸出部件朝向所述基板的外侧倾斜，以便从所述基板的侧面隔开
基座支撑包括处理装置

[实用新型]基板边部检测设备-CN201720552649.3有效
发明人：周波;李青;王丽红;郑权 -专利权人：东旭科技集团有限公司;东旭集团有限公司
申请日： 2017-05-17 - 公布日： 2017-12-05 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本公开涉及一种基板边部检测设备，所述基板边部检测设备包括拍摄单元，布置在靠近基板边缘的第一侧表面的位置以能够拍摄到基板边缘的第一侧表面的图像；照明单元，用于对基板边缘照射光；第一反光单元，布置在靠近基板边缘的第二侧表面的位置，拍摄单元通过第一反光单元能够拍摄到基板边缘的第二侧表面的图像。在通过照明单元向基板边缘照射光的状态下，拍摄单元直接拍摄到基板边缘的第一侧表面的图像，利用第一反光单元将基板边缘的第二侧表面的光反射至拍摄单元而拍摄到基板边缘的第二侧表面的图像，从而能够实现检测基板边部是否存在缺陷同时，基板边部检测设备的安装位置并不会受到基板传送装置等其他结构的限制而具有安装方便的效果。
基板边部检测设备

[发明专利]基板安装构造、安装基板、以及电压测定部-CN201910680836.3有效
发明人：柴田光辉;河合宣明;鹰箸拓人 -专利权人：横河电机株式会社;横河计测株式会社
申请日： 2019-07-26 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： H05K1/18 文献下载
摘要：本发明提供一种基板安装构造、安装基板、以及电压测定部，该基板安装构造能够实现稳定的动作。具备：电子元器件(11)，其具有端子(114a、114b)；第一导电板(12)，其与端子(114a、114b)连接，并且安装于基板(20)；第二导电板(13)，其空开间隔地包围端子(114a、114b)，并且安装于基板(20)；端子(114a、114b)配置于基板(20)及第二导电板(13)之间。
安装构造以及电压测定

[发明专利]基板收纳容器及过滤部-CN202080047895.8在审
发明人：成田侑矢;井上忠利 -专利权人：未来儿股份有限公司
申请日： 2020-07-29 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供一种基板收纳容器(1)，其具备容器主体、盖体、密封构件、过滤部(80)，该过滤部(80)具有能将基板收纳空间与容器主体的外部的空间连通的通气路(801)、配置于通气路(801)的过滤器(85)、形成通气路(801)的壳体(81、82、83、84)，过滤部(80)配置于容器主体，气体通过过滤器(85)能在容器主体的外部的空间与基板收纳空间之间通过；在壳体(93)收容有：阀体(99)，其能在外方开口部
收纳容器过滤

[实用新型]玻璃基板边部检测装置-CN201721056128.5有效
发明人：甄喜;李兆廷;吕星超;李远;李学锋 -专利权人：东旭科技集团有限公司;东旭集团有限公司
申请日： 2017-08-22 - 公布日： 2018-03-16 - 主分类号： G01B21/30 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供一种玻璃基板边部检测装置，属于玻璃基板加工技术领域。所述玻璃基板边部检测装置包括距离检测装置，用于检测所述玻璃基板的侧边与所述距离检测装置之间的距离；以及控制单元，用于接收所检测的所述玻璃基板的侧边与所述距离检测装置之间的距离并使其与预设值相比较，在所述玻璃基板的侧边与所述距离检测装置之间的距离超出该预设值时，确定所述玻璃基板的侧边存在缺陷。通过本实用新型的技术方案，可以将有缺陷的玻璃基板在进入下一道工序之前检测出来，有效防止带有缺陷的玻璃基板进入下一工序破碎后引起的生产中断及废品增多等问题。
玻璃基板边部检测装置

[发明专利]基板处理装置以及基板保持部的制造方法-CN201810515992.X在审
发明人：大塚庆崇;児玉宗久;寺田尚司 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-05-25 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及基板处理装置以及基板保持部的制造方法，能够高效地进行伴随紫外线处理的基板处理。所述基板处理装置具有：第一保持部，其保持被处理基板(W)；第二保持部，其与第一保持部相向配置，并对支承基板(S)进行静电吸附来保持支承基板(S)；以及紫外线照射部，其对设置在被第一保持部保持的被处理基板(W)与被第二保持部保持的支持基板(S)之间的粘接剂(G)照射紫外线。支承基板(S)和第二保持部分别由透过紫外线的材料构成。在第二保持部的内部设置有用于对支承基板(S)进行静电吸附的电极。在第二保持部的内部中的比电极靠支承基板(S)侧的位置形成有用于使紫外线的透过方向扩散的扩散层。
支承基板基板处理装置紫外线被处理基板基板保持部静电吸附电极紫外线照射部紫外线处理基板处理内部设置相向配置支持基板扩散层粘接剂制造照射扩散

[发明专利]设置在基板处理设备中的基板放置部-CN201780061456.0在审
发明人：康豪哲;黄喆周 -专利权人：周星工程股份有限公司
申请日： 2017-10-11 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：基板放置部的实施例涉及一种设置在基板处理设备中的基板放置部。基板放置部被分成多个内部区域和外部区域，内部区域具有内部加热线和外部加热线，外部区域置于基座边缘、包围内部区域且包括外部加热线，其中在至少部分区域中，内部加热线设置在相同内部区域中且具有第一间隔，设置在不同内部区域中的相应内部加热线被设置为具有在内部加热线彼此平行的部分中的第二间隔
加热线内部区域基板放置部基板处理设备外部彼此平行外部区域基座边缘包围

[实用新型]玻璃基板边部传动轮和玻璃基板传送装置-CN201720195826.7有效
发明人：刘国保;张旭;王新营;吴党;薛光亚 -专利权人：东旭科技集团有限公司;东旭集团有限公司
申请日： 2017-03-01 - 公布日： 2017-09-22 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本公开涉及一种玻璃基板边部传动轮及玻璃基板传送装置，其中，所述传动轮(1)包括用于支撑玻璃基板(2)边部的传动辊体(11)，该传动辊体(11)朝向所述玻璃基板(2)的径长沿轴向逐渐减小。这样，实现传动轮与玻璃基板的接触为面线接触，使得传动轮与玻璃基板的接触面达到最小，避免了传动轮与玻璃基板的接触面较大，造成玻璃基板表面产生轮印、划伤等缺陷以及二次污染，有效地保证了玻璃基板的品质。
玻璃基板边部传动传送装置

[其他]气体供给部及基板处理装置-CN202090000433.6有效
发明人：藏田智之;森田慎也;平野敦士;村田慧;冈田裕巳 -专利权人：株式会社国际电气
申请日： 2020-02-21 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： H01L21/31 文献下载
摘要：即使在使反应管内的部件由石英等非金属制部件构成的情况下，也能够抑制非金属制部件的破损。具备：气体供给喷管，其经由反应管的开口部向构成于反应管内部的处理室供给处理气体；第1密封材料，其设为至少将开口部与气体供给喷管的间隙覆盖；保持部件，其与反应管连接；转接头，其从反应管的外侧经由保持部件而连接；第1固定件，其以开口部、保持部件与转接头配置在同心圆上的方式进行固定；和第2密封材料，其设为将气体供给喷管、保持部件与转接头之间的空间维持为气密状态。
气体供给处理装置

[发明专利]具有腔部的多层布线基板-CN200880118734.2无效
发明人：松井纯;山田绅月 -专利权人：三菱树脂株式会社
申请日： 2008-12-03 - 公布日： 2010-11-10 - 主分类号： H05K3/46 文献下载
摘要：本发明提供一种具有腔部的多层布线基板，其是将多个布线基板层压而形成的具有腔部的多层布线基板，该多层布线基板包括设置在上述腔部底面的布线基板1和设置在布线基板1的上层侧的布线基板2，所述布线基板1和/或布线基板2包括具有指定性质的绝缘基体材料，上述布线基板2还形成有腔用孔，通过采用具有腔部的多层布线基板，可提供一种具有腔部、且兼具反射器功能的多层布线基板。
具有多层布线

[发明专利]具备安装电子部件的基板和散热板的电子部件模块及其制造方法-CN201680071521.3在审
发明人：横地智宏;长谷川贤一郎;梶野秀忠;笠间康德 -专利权人：株式会社电装
申请日： 2016-12-01 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： H05K1/02 文献下载
摘要：本发明提供具备安装了电子部件的基板和散热板的电子部件模块及其制造方法。多个电子部件被一体化的电子部件模块具备：基板、安装于基板的表面的多个电子部件、固定于基板并由金属构成的散热板。基板具有第一基板部、第二基板部及第三基板部，多个电子部件具有安装于第一基板部的一面的一个以上的第一部件、安装于第二基板部的一面的一个以上的第二部件，第一基板部与第二基板部配置为第一基板部的一面与第二基板部的一面相对第三基板部配置于第一基板部与第二基板部之间，由此第一基板部、第三基板部及第二基板部连接。散热板具有固定于第一基板部、第二基板部以及第三基板部中的至少一个以上的基板部的固定部、位于被第一基板部与第二基板部夹着的区域(R1)的侧方的侧方部。侧方部经由弯曲形状的弯曲部而与固定部连接。
第二基板第一基板基板电子部件基板部散热板电子部件模块侧方固定部弯曲形状弯曲部配置制造金属一体化

[发明专利]基板收纳容器-CN201580051564.0有效
发明人：金森雄大;松鸟千明;富田稔;男泽和则 -专利权人：未来儿株式会社
申请日： 2015-02-27 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：基板收纳容器具有容器主体、盖体和侧方基板支承部(5)。基板收纳容器的侧方基板支承部(5)具有在支承着基板的缘部时与基板接触的基板接触部(53、54)、和支承基板接触部(53、54)的接触部支承部(521、523)。基板接触部(53、54)由相对于与基板接触部(53、54)接触的基板的温度而具有耐热性的材料构成。接触部支承部(521、523)由耐热性比基板接触部(53、54)低、且吸湿率比基板接触部(53、54)低的材料构成。
收纳容器

[实用新型]全周光照明铝基板-CN202020121001.2有效
发明人：江东红;曹克铎;吴志峰 -专利权人：厦门利德宝电子科技股份有限公司
申请日： 2020-01-19 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： F21S2/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种全周光照明铝基板，包含水平基板部、折弯基板部、第一光源、第二光源、通槽部，所述第一光源设置于水平基板部上表面，所述第二光源设置于折弯基板部上表面，第一光源、第二光源均设置有发光面，第一光源的发光面平行于所述水平基板部，第二光源的发光面平行于所述折弯基板部，所述折弯基板部呈细长条状，所述折弯基板部的根部与水平基板部连接，所述折弯基板部可以绕其根部所述与水平基板部连接位置相对于水平基板部进行折弯，所述折弯基板部未与水平基板部连接的侧边均被通槽部环绕
全周光照明铝基板

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